Одними из весьма распространенных систем автоматизации являются позиционные системы микропроцессорного управления применяющихся в электронно-лучевых установках (ЭЛУ), роботах, регистрирующих приборах, сварочных машинах, металлорежущих станках, прокатных станах, сложных технологических объектах и других устройствах.
Технологическим инструментом в ЭЛУ является электронный луч, который производит обработку пластин кремния при изготовлении интегральных микросхем, сварку тугоплавких и химически активных материалов, сверление отверстий в особо твердых материалах и другие виды прецизионной размерной микрообработки, фрезерование пазов заданной ширины и глубины.