В даній роботі оформлена пояснювальна записка в якій описуються МЕМС-датчики різних виробників і принцип дії. Розроблений хід виконання лабораторної роботи на основі датчика MAX21105 на базі плати MinD EV Kit і програмного забезпечення для зняття даних Evaluation Kit.
В роботі досліджувалися зчитані данні гіроскопа та акселерометра через варіації Аллана і їх похибки. В середовищі Matlab був реалізований код обробки даних методом варіацій Аллана і таких похибок як випадкове блукання кута, випадкове блукання швидкості і нестабільність зміщення нуля. По результату досліджень побудовані графіки і оцінені на точність виміри.
Ключові слова: датчик кутової швидкості, МЕМС, гіроскоп, акселерометр.