Энергию атом может получить извне или в результате флуктуаций, так как в твердых телах, равно как и в газах, некоторые атомы могут колебаться быстрее и сильнее, чем остальные. Дальше возможны два механизма:
-    Атом занимает свободный узел (вакансию, отсюда и название – вакансионный механизм) в решетке другого тела,
-    Атом мигрирует в пространстве между узлами, пока не займет вакансию.
Существует также третья возможность, когда близко расположенные атомы меняются местами, но роль этого механизма незначительна.
Так же рассмотрим, как можно вычислить коэффициент диффузии методами Киркендалла и Больцмана-Матано.