СТРУКТУРА И СВОЙСТВА МНОГОСЛОЙНЫХ НАНОПЛЕНОЧНЫХ СИСТЕМ СОЗДАННЫХ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ
Э.А.Раббимов, М.Х.Суярова

Одной из основных научных и прикладных задач в области электронного
приборостроения является установления механизмов изменения электрофизических свойств материалов, в том числе полупроводниковых под действием различных факторов. При этом важно детальное понимание явлений, связанные с поведением дефектов и примесей в полупроводниковом кристалле, так как они существенно влияют на структурные, электрофизические и другие свойства поверхности и приповерхностных слоев и тем самым определяют рабочие характеристики и выхода готовой продукции.
Приведены результаты исследований методами ДМЭ, ДЭСЭ и ДБЭ совершенства структуры монослсйных пленок силицидов различных элементов и многослойных нанопленочных систем низкоэнергетической ионной имплантацией. Определены
энергетические, дозовые, и температурные зависимости их образования.